SEM（掃描電子顯微鏡）元素成分分析是利用掃描電子顯微鏡結合能譜儀（EDS）對樣品中元素成分進行分析的方法。SEM-EDS技術可以提供樣品表面的形貌和元素分布信息，并能夠定性和定量地分析樣品中的元素成分。 在SEM-EDS分析中，首先使用掃描電子顯微鏡觀察樣品表面的形貌和微觀結構。然后，通過EDS探測器收集樣品表面的X射線譜圖。當電子束與樣品相互作用時，樣品中的元素會發射出特定能量的X射線。EDS探測器可以測量這些X射線的能量和強度，從而確定樣品中存在的元素。 SEM-EDS分析可以提供樣品中元素的定性信息，即確定樣品中存在的元素種類。通過比較樣品的X射線譜圖與已知元素的標準譜圖進行匹配，可以確定樣品中的元素成分。此外，通過測量X射線的強度，還可以進行元素的定量分析，即確定元素在樣品中的相對含量。 SEM-EDS元素成分分析廣泛應用于材料科學、當地地質學、當地環境科學等領域。它可以用于材料的成分分析、當地缺陷分析、當地顆粒分析、當地礦物學研究等方面。該技術具有非破壞性、當地高分辨率和高靈敏度的特點，為樣品的微觀表征和元素分析提供了有力的工具。